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            CRF plasma 等離子清洗機

            支持材料 測試、提供設備 試機

            20年專(zhuān)注等離子清洗機研發(fā)生產(chǎn)廠(chǎng)家

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            微波等離子清洗機

            CRF-WBO-RO1200

            0-1250W功率可調固態(tài)微波源,脈沖、連續波方式可調,頻率2.45GHz±25Hz,循環(huán)水冷降低溫度。


            ●環(huán)形器+帶耦合器的水負載,吸收反射微波,大大延長(cháng)微波源使用壽命。

            三銷(xiāo)釘調諧器可調節負載阻抗,提高微波利用率,降低反射波損傷。

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            設備詳細數據

            名稱(chēng) 參數
            設備供電 三相380V/AC,50/60Hz,7.2KW
            等離子微波源 2.45GHz,0-1250W
            負載冷卻方式
            循環(huán)水冷
            真空泵 雙級旋葉泵+羅茨泵
            設備控制方式 PLC+PC
            真空探測 皮拉尼式真空規
            工藝氣體 2路氣體可選(CF4,SF6,O2,Cl2,BCI2等)
            氣體流量 MFC/0-500sccm,兩路氣體可選
            腔體容積 110L
            處理效率 同時(shí)可放置8個(gè)支架類(lèi)料盒
            觸摸屏
            13.3寸一體機
            外形尺寸 1400mm*770mm*1660mm

                     等離子清洗是半導體后道工藝中最常見(jiàn)的設備之一。微波等離子清洗機在微波源的激發(fā)下產(chǎn)生氧等離子體,這種激發(fā)的氧等離子可以有效的去除半導體芯片在加工過(guò)程中在芯片表面殘留的有機污染物,這種污染物會(huì )嚴重影響器件在鍵合封裝中的良率。在集成電路的制作程中,會(huì )產(chǎn)生許多種類(lèi)的污染物,包括氟化樹(shù)脂、氧化物、環(huán)氧樹(shù)脂、焊料、光刻蝕劑等,這些污染物將嚴重影響集成電路及其元器件的可靠性和合格率。等離子清洗作為一種能有效去除表面污染物的工藝技術(shù)被廣泛應用于集成電路的制程中。
                     微波等離子清洗作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗方式, 可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。簡(jiǎn)述了微波等離子清洗的原理及特點(diǎn),介紹了設備的構成、清洗工藝和模式,對微波導入和微波源與負載的匹配兩個(gè)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究;通過(guò)工藝驗證,微波等離子清洗降低了接觸角度,提高了引線(xiàn)鍵合強度。

            深圳誠峰智造等離子清洗機

            500強企業(yè)長(cháng)期選擇品牌

            • PAI
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            • Huaxing
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            選擇我們的理由

            20年自主研發(fā)經(jīng)驗 500強企業(yè)案例 多項技術(shù)專(zhuān)利認證
            通過(guò)歐盟CE認證 采用進(jìn)口器件部件 然您無(wú)憂(yōu)使用

            • 專(zhuān)業(yè)的研發(fā)團隊

              擁有多名從業(yè)十多年的組裝工程師

            • 先進(jìn)的設備

              認真對待每一次設備試驗

            • 嚴格的質(zhì)量控制

              設備出廠(chǎng)前連續24小時(shí)運行調試

            • 完善的服務(wù)體系

              集研發(fā)、制造、銷(xiāo)售以及售后服務(wù)為一體的等離子設備高新技術(shù)企業(yè)

            • 服務(wù)行業(yè)領(lǐng)域廣泛

              專(zhuān)注等離子研發(fā)20年,服務(wù)多種行業(yè)

            • 可特殊定制設備

              完全按照客戶(hù)需求制作設備

            多項專(zhuān)利證書(shū),廠(chǎng)家實(shí)力認證

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            誠峰智造——專(zhuān)注等離子研發(fā)20年

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